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By C. Ashby,A. Baca

This e-book presents basic and useful details on all elements of GaAs processing and provides pragmatic recommendation on cleansing and passivation, rainy and dry etching and photolithography. different themes lined contain equipment functionality for HBTs (Heterojunction Bipolar Transistors) and FETs (Field impression Transistors), how those relate to processing offerings, and certain processing matters akin to rainy oxidation, that are particularly very important in optoelectronic units. This publication is acceptable for either new and practicing engineers.

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